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視覺系統
視覺系統可全方位快速探測和定位并擁有強大的基片基點對準能力。這令諸如MIMICS和梁式引線二極管等定位要求高的芯片的校準成為可能。視覺系統根據基片基點、芯片邊緣或已貼放芯片特征點的相對位置對準并貼放芯片。這保證了光路件和微波器件的重復精度及對準的精確度。兩套視覺系統配合使用可以完成正裝貼合工藝和倒裝貼合工藝。每臺相機的環形光和同軸光的光強度編程可調，從而達到在最佳的背景光下進行芯片校準。RGB可編程光源為多種復雜表面的校準提供了更高的識別能力。
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激光干涉儀-精度標定
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