型號

M-5

功能模塊

參數

貼放精度

 ±1μm 3sigma

照明系統

RGB全色域環形光源

工作方式

離線半自動  

 過程監控系統(選配)

可錄像

工作范圍

400*800mm

夾持型拾取工具頭

  定制     

貼裝器件尺寸范圍

0.05-40mm

吸嘴

  定制     

綜合貼裝精度

±2.5μm 3sigma

 固定上料方式  

Gel-pack,Tray,Wafflepack等

XY驅動形式

直線電機

共晶模塊(選配)) 

30℃～500

行程

X:150mm Y:350mm

  工藝保護氣體(選配)

   熱氮

Z:150mm  T:360°

點膠系統（選配）  

 武藏點膠系統兼容UV點膠、環氧膠、銀膠

XY軸解析度

 1μ

固化系統（選配） 

紫外線固化/熱固化

Z軸解析度

 1μ

高度測量（選配）

 基恩士激光測量0.005mm

T軸解析度

0.005°

 激光熱壓鍵合系統（選配）

 MicroASM 100-1000℃

鍵合力控制

 20-1000g 

接入要求

 220市電10A 0.5Mpa壓縮空氣   

上部視覺系統

1.4μ

外形尺寸  

長x寬x高：835×747×1700mm（不包傳送機構

下部視覺系統

 1.4μ 

重量

1000kg